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       超純水是一種純度很高水,主要用于:集成電路工業中用于半導體原材料和所用器皿清洗、光刻掩模版制備和硅片氧化用水汽源等。此外,其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等制作也都要使用超純水。那么實驗室純水機去除哪些雜質。
      ①無機電離雜質,如Ca、Mg、Na、K、Fe2+、Fe3+、Mn、Al、HCO、CO、SO、Cl、NO、NO、SiO、PO等。
      ②有機物,如烷基苯磺酸、油、有機鐵、有機鋁以及其他碳氫化合物等。

           ③顆粒,如塵埃、氧化鐵、鋁、膠體硅等。
      ④微生物,如細菌、浮游生物和藻類等。
      ⑤溶解氣體,如N2、O2、CO2、H2S等。超純水中電離雜質含量用水電阻率數值來衡量。理論上,純水中只有H離子和OH離子參加導電。在25℃時超純水電阻率為18.3(兆歐·厘米),一般約為15~18(兆歐·厘米)。
      水中各種雜質,同時存在,因此實驗室純水機在處理過程中,采用多種方式去除,先后經過了前置預處理、反滲透、超濾等過程,其間同時還加活性碳,滅菌等過程。

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